[发明专利]一种跑道型硅靶材的生产方法在审
| 申请号： | 201710004094.3 | 申请日： | 2017-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN106676485A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 张磊;陈良杰;张晓峰;顾正;郭校亮 | 申请（专利权）人： | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B28D5/04;B24B1/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 山东省青岛市 即墨市蓝色硅谷核*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅靶材生产技术领域，特别涉及一种跑道型硅靶材的生产方法，该方法将跑道型成套靶材分解为两个U型靶和多个长方形靶，分解后的长方形靶按照传统标准靶材生产，U型靶材按照异型靶生产，即利用水刀按照U型靶轮廓切割坯料，利用金刚石砂轮对U型靶侧表面进行机械加工。本发明可将跑道型硅靶材的生产效率提高5倍以上，水刀切割效率5000mm2/min，切割时间减少10倍以上；综合成本降低50％以上，硅片出成率可到90％以上；硅靶材的内表面粗糙度可以由Ra3.2提高至Ra0.8。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 跑道 型硅靶材 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种跑道型硅靶材的生产方法，其特征是：将跑道型成套靶材分解为两个U型靶和多个长方形靶，分解后的长方形靶按照传统标准靶材生产，U型靶材按照异型靶生产，即利用水刀按照U型靶轮廓切割坯料，利用金刚石砂轮对U型靶侧表面进行机械加工。
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