[发明专利]带电粒子束装置以及样品平台的对准调整方法有效
| 申请号： | 201680046720.9 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN107924801B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 三上圭介;根崎俊明;千叶宽幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/20;H01J37/24;H01J37/28 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 韩丁<国际申请>=PCT/JP2016/ |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的涉及，能利用低倍率的光学像和高倍率的光学像高精度、操作性良好、高吞吐量地调整样品平台与光学像的对准。本发明涉及，能使用第1处理完毕光学像实施基于样品台对准的对准调整，其中，第1处理完毕光学像是通过数字处理对保持了样品的样品台的光学像进行放大或缩小或视野变更而得到的，能使用与第1处理完毕光学像不同的第2处理完毕光学像实施基于对准点指定的对准调整。根据本发明，不将保持了样品的样品台从样品室取出，就能以样品台的外形和样品上的特征点为基准来调整样品平台与光学像的对准。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 以及 样品 平台 对准 调整 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：/n平台，其载置能保持样品的样品台，且能移动；/n照射光学系统，其对所述样品照射带电粒子束；/n检测器，其检测从所述样品放出的信号；/n显示装置，其显示基于所述信号形成的带电粒子像；以及/n光学显微镜，其拍摄所述样品台，/n所述带电粒子束装置在对由所述光学显微镜拍摄的光学像进行变焦以及/或者移位后得到的第1处理完毕光学像上，显示模仿所述样品台的外形的指示器，能操作该指示器来实施第1对准调整，在对所述光学像进行变焦以及/或者移位后得到的第2处理完毕光学像以及所述带电粒子像上显示指针，能操作该指针实施第2对准调整。/n
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