[发明专利]压力传感器和用于监视压力传感器的方法

摘要

本发明涉及用于确定压力测量变量的压力传感器(1)，包括至少一个壳体(2)、在壳体(2)中布置的压力传感器元件(3)、同样在壳体(2)中布置的发光装置(4)、以及控制/评估单元(8)。压力传感器元件(3)具有半导体材料和测量膜，其中第一压力(p1)被供给到测量膜(5)的第一侧，并且第二压力(p2)被供给到测量膜(5)的第二侧，使得测量膜(5)经历压力相关的偏转。测量膜(5)具有至少一个集成电阻元件(6)，并且控制/评估单元(8)借助于集成电阻元件(6)确定电信号(10)，以便确定压力测量变量。发光装置(4)光学激励压力传感器元件(3)，尤其是至少一个集成电阻元件(6)，并且控制/评估单元(8)基于由光学激励引起的电信号(10)的变化来确定是否存在压力传感器(1)的故障。

主权项

一种用于确定压力测量变量的压力传感器(1)，包括至少一个壳体(2)、在所述壳体(2)中布置的压力传感器元件(3)、同样在所述壳体(2)中布置的发光装置(4)、以及控制/评估单元(8)，其中，所述压力传感器元件(3)具有半导体材料和测量膜，其中，第一压力(p1)被供给到所述测量膜(5)的第一侧，并且第二压力(p2)被供给到所述测量膜(5)的第二侧，使得所述测量膜(5)经历压力相关的偏转，其中，所述测量膜(5)具有至少一个集成电阻元件(6)并且所述控制/评估单元(8)借助于所述集成电阻元件(6)确定用于确定所述压力测量变量的电信号(10)，其中，所述发光装置(4)光学地激励所述压力传感器元件(3)，尤其是所述至少一个集成电阻元件(6)，并且所述控制/评估单元(8)基于由所述光学激励引起的电信号(10)的变化来确定是否存在所述压力传感器(1)的故障。