[发明专利]电磁波检测器以及气体分析装置

摘要

本发明涉及一种电磁波检测器，具备具有通过支撑脚中被空保持于基板上的受光部的第1电磁波传感器、具有通过与第1电磁波传感器的支撑脚相同构造的支撑脚被中空保持于基板上的受光部并且与第1电磁波传感器邻接设置的第2电磁波传感器，该电磁波检测器的特征在于，第1电磁波传感器的受光部具有反射膜，第2电磁波传感器的受光部具有检测预定波长区域或者预定偏振的光的电磁波吸收体，输出第2电磁波传感器的输出与第1电磁波传感器的输出的差分。

主权项

1.一种电磁波检测器，具备：基板；第1电磁波传感器，具有通过支撑脚被中空保持于所述基板上的受光部；以及第2电磁波传感器，具有通过与所述第1电磁波传感器的支撑脚相同构造的支撑脚被中空保持于所述基板上的受光部，所述第2电磁波传感器与所述第1电磁波传感器邻接设置，所述电磁波检测器的特征在于，所述第1电磁波传感器的受光部具有平坦的整面反射膜，所述第2电磁波传感器的受光部具有检测预定波长区域或者预定偏振的光的电磁波吸收体，所述第1电磁波传感器具有包含反射膜的受光部以及电磁波直接入射的支撑脚，所述第1电磁波传感器的支撑脚产生与由在所述第2电磁波传感器的支撑脚吸收的电磁波引起的传感器输出相等的输出，输出所述第2电磁波传感器的输出与所述第1电磁波传感器的输出的差分。