[实用新型]一种激光压缩整形装置有效
申请号: | 201620990109.9 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN206074923U | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 陈鲁;刘虹遥;杨乐;张朝前;马砚忠;路鑫超 | 申请(专利权)人: | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09;H01S3/00 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所11302 | 代理人: | 房德权 |
地址: | 314006 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及激光设备技术领域,特别涉及一种激光压缩整形装置,包括非球面镜、柱面镜及壳体。非球面镜与所述柱面镜相对设置。非球面镜及柱面镜固定在壳体内。激光从非球面镜入射,从柱面镜射出。本实用新型提供的激光压缩整形装置,非球面镜对激光起匀光作用,柱面镜对激光起单向压缩作用,非球面镜及柱面镜共同实现激光的会聚,通过对激光束进行匀光、压缩以及会聚,实现了激光束的均匀分布。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 压缩 整形 装置 | ||
【主权项】:
一种激光压缩整形装置,其特征在于,所述装置包括:非球面镜、柱面镜及壳体;所述非球面镜与所述柱面镜相对设置;所述非球面镜及所述柱面镜固定在所述壳体内;所述激光从所述非球面镜入射,从所述柱面镜射出。
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