[实用新型]一种氧化物单晶真空电阻生长炉

摘要

本实用新型涉及一种氧化物单晶真空电阻生长炉，包括炉体、上炉腔、下炉腔、进料装置、回收管道、观察窗、隔离阀、坩埚、电极、加热器、绝缘层、进料装置、籽晶、位移电机、升降杆、位移检测器、重力传感器、温度传感器、报警器、可编程控制器、真空泵、保护气进气电磁阀。该氧化物单晶电阻生长炉结构简单，使用方便，通过进料管道向炉体内加入原料，通过回收管道将反应后的物体输出，反应过程中无需移动加热器和电极，不会造成加热器和电极的损坏。

主权项

一种氧化物单晶真空电阻生长炉，包括炉体、上炉腔、下炉腔、进料装置、回收管道、观察窗、隔离阀、坩埚、电极、加热器、绝缘层；炉体的上端安装有上炉腔，炉体的下端安装有下炉腔；炉体的内壁上安装有绝缘层，绝缘层的内部安装有电极，电极的内侧设置有加热器，加热器的上端安装有坩埚；隔离阀设置在上炉腔与炉体的连接处；炉体的上端还设置有观察窗；其特征在于，该氧化物单晶电阻生长炉还包括：进料装置、籽晶、位移电机、升降杆、位移检测器、重力传感器、温度传感器、报警器、可编程控制器、真空泵、保护气进气电磁阀；炉体的外部安装有进料装置，进料装置的上端通过进料管道与上炉腔相连通；进料装置的下端通过回收管道与下炉腔相连通；坩埚内放置有籽晶，所述籽晶连接升降杆，所述升降杆连接位移电机，所述位移电机安装在上炉腔上；所述位移检测器固定在升降杆上；所述重力传感器安装在坩埚上；报警器、可编程控制器均安装在炉体外壳上；真空泵、保护气进气电磁阀均通过管道连接在炉体上端；所述温度传感器安装在加热器上；所述电极、加热器、进料装置、位移电机、位移检测器、重力传感器、报警器、真空泵、保护气进气电磁阀均通过信号线与可编程控制器电连接；所述的下炉腔的外壁上设置有散热孔；所述的坩埚的下端设置有出料口；进料管道和回收管道上均安装有输送泵；所述输送泵上安装有变频电机，所述变频电机通过信号线与可编程控制器连接；所述位移电机为伺服电机；所述保护气进气电磁阀进气端连接外部保护气储存设备；所述温度传感器在加热器上从上到下设置有多个。