[实用新型]一种探针卡对针机

摘要

本实用新型公开了一种探针卡对针机，包括基座、具有三自由度的探针卡支架、模板支架和显微支架；所述的基座为长方形，所述的探针卡支架、模板支架和显微支架沿基座短边方向由前向后安装在基座上；所述的探针卡支架包括三自由度调整机构和夹具，所述的模板支架包括立式支架、凸轮转动机构和模板支撑架，所述的三自由度调整机构包括θ角度旋转滑台、Y轴方向调整滑台和X轴方向调整滑台。由于本实用新型设置了三自由度调整机构，可以非常方便地沿X轴方向、Y轴方向和θ角度方向调整探针卡的位置，使检测的精度可以达到5μm以内。本实用新型的夹具大小尺寸可调，最大可以检测400mm的探针卡，兼容性强，可以兼容检测大部分通常尺寸的探针卡。

主权项

一种探针卡对针机，其特征在于：包括基座(1)、具有三自由度的探针卡支架、模板支架和显微支架(2)；所述的基座(1)为长方形，所述的三自由度为水平面内的X轴方向、Y轴方向和θ角度旋转方向；所述的X轴方向为基座(1)的长边方向、所述的Y轴方向为基座(1)的短边方向；所述的探针卡支架、模板支架和显微支架(2)沿Y轴方向由前向后安装在基座(1)上；所述的探针卡支架包括三自由度调整机构(9)和夹具，所述的三自由度调整机构(9)下部与基座(1)连接、其上部与夹具连接；所述的夹具包括支撑框架(3)、导轨(4)和夹紧块(5)，所述的支撑框架(3)为矩形框架，沿矩形框架长度方向两侧设置有导轨(4)，所述的夹紧块(5)成对横跨两侧导轨(4)设置，与导轨(4)滑动连接；所述的模板支架包括立式支架(6)、凸轮转动机构(7)和模板支撑架(8)，所述的立式支架(6)固定在基座(1)上，通过凸轮转动机构(7)与模板支撑架(8)连接；所述的显微支架(2)包括门式框架、导柱、滑动组件、伸缩梁和显微连接机构，所述的导柱固定在门式框架的顶部，所述的滑动组件安装在导柱上，所述的伸缩梁一端固定在滑动组件上、另一端与显微连接机构连接。