[实用新型]自动转移蓝宝石基片的装置

摘要

本实用新型公开一种自动转移蓝宝石基片的装置，属于半导体技术领域，包括机架，机架上分别安装有导轨、上料单元、转移单元和控制单元，所述上料单元和控制单元连接，所述转移单元和控制单元连接；所述上料单元用于承载基片，所述转移单元用于转移基片，所述控制单元分别用于控制上料单元承载基片、及控制转移单元转移基片。该自动转移蓝宝石基片的装置，可有效替代人工，提高生产效率及成品良率。

主权项

一种自动转移蓝宝石基片的装置，其特征在于，包括机架(5)，机架(5)上分别安装有导轨(8)、上料单元、转移单元和控制单元，所述上料单元和控制单元连接，所述转移单元和控制单元连接；所述上料单元用于承载基片，所述转移单元用于转移基片，所述控制单元分别用于控制上料单元承载基片、及控制转移单元转移基片；所述上料单元包括后道基片承载盒(1)、与后道基片承载盒(1)配合的前道基片承载盒(2)，所述后道基片承载盒(1)用于承载转移后的基片，且所述后道基片承载盒(1)沿导轨(8)移动，所述前道基片承载盒(2)用于承载待转移的基片；所述转移单元包括机械手(3)、用于驱动机械手(3)的转移控制装置(4)，所述转移控制装置(4)控制机械手(3)做水平位移，将基片由前道基片承载盒(2)推送至后道基片承载盒(1)內，基片转移后，机械手(3)水平退出前道基片承载盒(2)至等待位(9)；所述控制单元控制后道基片承载盒(1)沿导轨(8)水平位移至升降支撑座(6)，位于升降支撑座(6)上的后道基片承载盒(1)沿Z轴方向下降至与前道基片承载盒(2)对应位置，在转移单元中机械手(3)和转移控制装置(4)的作用下完成基片转移后，沿升降支撑架(11)下降至机架(5)底端，后沿导轨(8)水平传送至下料位(10)。