[实用新型]一种可调的表面等离激元滤波器

摘要

一种可调的表面等离激元滤波器。该滤波器由表面等离激元共振腔和表面等离激元波导耦合构成。入射激光在波导中激发表面等离激元，当入射光的波长与表面等离激元共振腔的共振波长匹配时，可以将表面等离激元的能量耦合进入表面等离激元共振腔，从而改变表面等离激元波导中的光强，实现滤波效果。由于表面等离激元共振腔的共振波长会在外加压力下改变，因此外加的压力可以调制滤波器的滤波波段。由于滤波器的形变依赖于外加压强，而与介电常数无关，因此加大压力就可以扩大滤波器的可调范围。而且，该滤波器不含有液体成分，更易于集成制作。

主权项

一种可调的表面等离激元滤波器，其特征是：由表面等离激元共振腔和表面等离激元波导耦合构成，表面等离激元共振腔是由金属中的空腔构成，空腔中的一侧腔壁很薄，且此腔壁外侧与压力源接触，表面等离激元波导与共振腔在远离金属表面的地方相互耦合。