[实用新型]一种GaN基异质结绿光激光器件有效
申请号: | 201620861190.0 | 申请日: | 2016-08-10 |
公开(公告)号: | CN205901069U | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 王辉;王冰;赵洋;李新忠;王静鸽;李贺贺 | 申请(专利权)人: | 河南科技大学 |
主分类号: | H01S5/343 | 分类号: | H01S5/343 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)41120 | 代理人: | 刘兴华 |
地址: | 471000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种GaN基异质结绿光激光器件,包括蓝宝石衬底、蓝宝石衬底上外延生长的n‑GaN电子注入层、n‑GaN电子注入层上外延生长的InGaN/GaN量子阱层、InGaN/GaN量子阱层上的p‑NiO外延层、设置在p‑NiO外延层上的正电极和设置在n‑GaN电子注入层上的负电极;本实用新型采用p‑NiO代替p‑GaN作为空穴注入层和光散射层,制备成p‑NiO/(InGaN/GaN)MQW/n‑GaN异质结绿光激光器件,可以克服p型GaN外延层载流子浓度偏低,器件串联电阻大,工作电压高,器件输出功率低等缺点;同时NiO与GaN有相似的晶格常数及禁带宽度,采用p‑NiO作为p型材料与GaN基材料相匹配可以降低晶格失配,从而提高晶体质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 gan 基异质结绿光 激光 器件 | ||
【主权项】:
一种GaN基异质结绿光激光器件,其特征在于:包括蓝宝石衬底(1)、蓝宝石衬底(1)上外延生长的n‑GaN电子注入层(2)、n‑GaN电子注入层(2)上外延生长的InGaN/GaN量子阱层(3)、InGaN/GaN量子阱层(3)上的p‑NiO外延层(4)、设置在p‑NiO外延层(4)上的正电极(5)和设置在n‑GaN电子注入层(2)上的负电极(6)。
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