[实用新型]光刻系统有效
| 申请号： | 201620808522.9 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN205942249U | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 胡煜塨 | 申请（专利权）人： | 胡煜塨 |
| 主分类号： | G03F7/207 | 分类号： | G03F7/207;G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种光刻系统，包括光源、以及沿光路方向依次设置的空间光调制器、第一分光器件、双远心光学系统和光刻平台，所述双远心光学系统由沿光路方向依次设置的镜筒透镜和物镜组成，所述镜筒透镜和物镜之间光线为非平行光，所述物镜与调焦装置连接，该调焦装置带动所述物镜移动以实现焦距调节。本实用新型光刻系统优点至少包括在主光路中无分光器件，成像质量好；检测系统中全部由成像光学元件组成，检测光斑投射在工件表面的尺寸较大，不容易受到灰尘和颗粒影响；检测系统和调焦系统采用机械切换方式，光路结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 系统 | ||
【主权项】：
一种光刻系统，其特征在于，包括光源、以及沿光路方向依次设置的空间光调制器、第一分光器件、双远心光学系统和光刻平台，所述双远心光学系统由沿光路方向依次设置的镜筒透镜和物镜组成，所述物镜与调焦装置连接，该调焦装置带动所述物镜移动以实现焦距调节。
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