[实用新型]一种长杆离子源进气结构有效

专利信息
申请号: 201620794491.6 申请日: 2016-07-27
公开(公告)号: CN205845891U 公开(公告)日: 2016-12-28
发明(设计)人: 谢亚红;顾玉明;胡纯栋;宋云涛 申请(专利权)人: 合肥中科离子医学技术装备有限公司
主分类号: H01J7/20 分类号: H01J7/20
代理公司: 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)11390 代理人: 胡剑辉;韩立峰
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开一种长杆离子源进气结构,包括位于筒体内的灯丝阳极座、以及位于主支撑箱内的第一PEEK树脂绝缘座,所述的筒体内设有进气管,该进气管一端与灯丝阳极座焊接,另一端与第一PEEK树脂绝缘座密封粘接。筒体与离子源的头部安装连接,头部内安装有灯丝,灯丝与灯丝阳极座和阴极座固定,灯丝阳极座与阴极座之间用陶瓷杆隔离电位。本实用新型采用进气管顶端与阳极座焊接,底端与第一PEEK树脂绝缘座密封粘接,有效的解决了长杆离子源因内部空间狭小且需要电位隔离等要求而导致进气装置难以安装的困难,从而满足长杆状离子源进气及电位隔离的性能要求。
搜索关键词: 一种 离子源 结构
【主权项】:
一种长杆离子源进气结构,包括位于筒体(7)内的灯丝阳极座(5)、以及位于主支撑箱(10)上的第一PEEK树脂绝缘座(11),其特征在于,所述的筒体(7)内设有进气管(6),该进气管(6)一端与灯丝阳极座(5)焊接,另一端与第一PEEK树脂绝缘座(11)密封粘接。
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