[实用新型]一种机械及电学解耦的谐振式加速度计有效
| 申请号： | 201620790694.8 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN205861720U | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心11008 | 代理人： | 王世磊 |
| 地址： | 710000 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及到微机电机械系统(MEMS)中的谐振式加速度传感器，特别涉及一种机械及电学解耦的谐振式加速度计。谐振器与质量块相连，质量块通过锚点固定在基体上，加速度计包括两个左右相互独立的质量块，其特征为：左右质量块分别通过各自独立的锚点固定在基体上。克服了谐振式加速度计现有解耦技术的不足，有效的解决谐振式加速度计的锁模问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械 电学 谐振 加速度计 | ||
【主权项】：
一种机械及电学解耦的谐振式加速度计，谐振器与质量块相连，质量块通过锚点固定在基体上，加速度计包括两个左右相互独立的质量块，其特征为：左右质量块分别通过各自独立的锚点固定在基体上。
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