[实用新型]磁控溅射阴极座的磁场移动调节装置及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201620785714.2 | 申请日： | 2016-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN205803585U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 陈轶 | 申请（专利权）人： | 昆山迅立光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种磁控溅射阴极座的磁场移动调节装置及真空镀膜设备，其中，所述磁场移动调节装置包括：法兰座、驱动螺杆、调节手轮、导向轴、直线轴承以及安装板；所述法兰座为至少两个，所述驱动螺杆一端安装有法兰座，所述调节手轮螺接于所述驱动螺杆上，且所述调节手轮枢转安装于所述安装板上，所述导向轴与所述驱动螺杆间隔且平行设置，所述导向轴一端安装有法兰座，所述导向轴通过直线轴承滑动地安装于所述安装板上。本实用新型的磁控溅射阴极座的磁场移动调节装置可实现磁场的移动调节，从而改变靶材表面的磁力，使得后期被溅射的面积得到提高，向下烧蚀的速度变慢，溅射工作时间变长，进而可将靶材的利用率提高到39％～45％。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 阴极 磁场 移动 调节 装置 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射阴极座的磁场移动调节装置，其特征在于，所述磁场移动调节装置包括：法兰座、驱动螺杆、调节手轮、导向轴、直线轴承以及安装板；所述法兰座为至少两个，所述驱动螺杆一端安装有法兰座，所述调节手轮螺接于所述驱动螺杆上，且所述调节手轮枢转安装于所述安装板上，所述导向轴与所述驱动螺杆间隔且平行设置，所述导向轴一端安装有法兰座，所述导向轴通过直线轴承滑动地安装于所述安装板上。
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