[实用新型]一种石英舟有效
| 申请号： | 201620769277.5 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN205911293U | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 王俊朝;向文山;李军阳;李学文 | 申请（专利权）人： | 深圳丰盛装备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本用新型涉及一种石英舟，其包括两块石英板和固设在所述两块石英板之间的至少三根槽棒，每一所述槽棒上间隔设置有若干用于放置硅片的卡槽，所述两块石英板的外端面上分别设置有供机械手抓取搬运的端面柱，其中一块所述石英板的外端面还设置有供插片机定位的基准孔。这样能够便于机械手将石英舟从扩散炉中搬运到插片机上以及便于插片机对石英舟进行定位并装卸硅片。与现有石英舟相比，本实用新型的石英舟适用自动化加工，大大提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
【主权项】：
一种石英舟，其包括两块石英板和固设在所述两块石英板之间的至少三根槽棒，每一所述槽棒上间隔设置有若干用于放置硅片的卡槽，其特征在于，所述两块石英板的外端面上分别设置有供机械手抓取搬运的端面柱，其中一块所述石英板的外端面还设置有供插片机定位的基准孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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