[实用新型]一种用于匀胶机顶盖的密封圈有效
| 申请号： | 201620732909.0 | 申请日： | 2016-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN205762057U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 谢桂兰;孙毓;吴淑财 | 申请（专利权）人： | 潍坊星泰克微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/00;B05C11/10 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 翁斌 |
| 地址： | 261205 山东省潍坊市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及匀胶机的配件技术领域，尤其涉及一种用于匀胶机顶盖的密封圈，包括内圈、外圈和卡扣，外圈和内圈相连接，内圈和外圈均为环状，外圈设置在内圈的外周，卡扣设置在外圈上，卡扣包括卡勾和卡孔，卡勾卡合在卡孔中。本实用新型结构简单，对盖上匀胶机的顶盖进行了有效的密封，使得晶片上各个区域膜厚均匀度有了很大的改善，曝光、显影后，复制出的图形线宽更加一致，解决了厚膜的膜厚不均匀的问题，更不会出现条纹，提高了最终产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 匀胶机 顶盖 密封圈 | ||
【主权项】：
一种用于匀胶机顶盖的密封圈，其特征在于：包括内圈(1)、外圈(2)和卡扣，所述的外圈(2)和内圈(1)相连接，所述的内圈(1)和外圈(2)均为环状，所述的外圈(2)设置在内圈(1)的外周，所述的卡扣设置在外圈(2)上，所述的卡扣包括卡勾(31)和卡孔(32)，所述的卡勾(31)卡合在卡孔(32)中。
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