[实用新型]多晶湿法刻蚀设备

摘要

本实用新型公开了一种多晶湿法刻蚀设备，所述多晶湿法刻蚀设备包括纯水进管、热交换装置、至少一个多晶湿法刻蚀机、纯水出管；所述纯水进管与所述热交换装置相连通；所述热交换装置通过降温纯水出水管与所述多晶湿法刻蚀机相连通；所述多晶湿法刻蚀机通过纯水出支管与所述纯水出管相连接；所述热交换装置包括换热器、板换冷冻水回水管、板换冷冻水进水管；在所述降温纯水出水管和所述纯水进管之间设置有纯水旁管，所述纯水旁管上设置有纯水旁通阀，所述纯水旁通阀用于控制所述纯水旁管的通断。本实用新型提供的多晶湿法刻蚀设备能显著降低夏季的刻蚀黑框返工率，提升设备运行率。

主权项

一种多晶湿法刻蚀设备，其特征在于，所述多晶湿法刻蚀设备包括：纯水进管、热交换装置、至少一个多晶湿法刻蚀机、纯水出管；所述纯水进管与所述热交换装置相连通；所述热交换装置通过降温纯水出水管与所述多晶湿法刻蚀机相连通；所述多晶湿法刻蚀机通过纯水出支管与所述纯水出管相连接；所述热交换装置包括：换热器、板换冷冻水回水管、板换冷冻水进水管；所述板换冷冻水进水管与所述换热器连通；所述板换冷冻水回水管与所述换热器连通；在所述板换冷冻水进水管上设置有板换冷冻水进水比例电磁阀，所述板换冷冻水进水比例电磁阀用于控制所述板换冷冻水进水管与所述换热器之间的通断和/或冷冻水的进水量；所述纯水进管上设置有板换纯水进水手阀，所述板换纯水进水手阀用于控制所述纯水进管与所述换热器之间的通断；所述降温纯水出水管上设置有板换纯水回水手阀，所述板换纯水回水手阀用于控制所述降温纯水出水管与所述换热器之间的通断；在所述降温纯水出水管和所述纯水进管之间设置有纯水旁管，所述纯水旁管上设置有纯水旁通阀，所述纯水旁通阀用于控制所述纯水旁管的通断。