[实用新型]一种镀膜样品装载的承载台有效
| 申请号： | 201620680703.8 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN205803588U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 李宁;宋克昌;杨国文 | 申请（专利权）人： | 西安立芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 胡乐 |
| 地址： | 710077 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提出一种新的镀膜样品装载的承载台，能够简单、可靠地承载待镀膜器件，并避免污染镀膜面。该承载台的基底的上表面两翼凸起形成有夹具承载台面，在两翼的夹具承载台面之间的凹陷通道的上方、沿通道方向平行架设有固定紧绷的若干条承重丝线，形成用于承载夹具中镀膜样品的平面。本实用新型采用承重丝线形成的虚拟装配界面，与镀膜样品接触面积极小，避免了镀膜样品的敏感界面污染和清洗带来的二次污染以及复杂清洁步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 样品 装载 承载 | ||
【主权项】：
一种镀膜样品装载的承载台，包括基底，其特征在于：基底的上表面两翼凸起形成有夹具承载台面，在两翼的夹具承载台面之间的凹陷通道的上方、沿通道方向平行架设有固定紧绷的若干条承重丝线，形成用于承载夹具中镀膜样品的平面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安立芯光电科技有限公司，未经西安立芯光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620680703.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：ICP增强多靶磁控溅射装置
- 下一篇：一种双室磁控溅射电子束镀膜机
- 同类专利
- 专利分类
