[实用新型]一种一体式硅片精细抛光机

摘要

本实用新型涉及一种一体式硅片精细抛光机。当前，企业在对硅片进行抛光加工时需要经过粗抛与精抛两道工序，两道工序分别在两台设备进行，这不仅降低了加工效率，同时，不同设备的装配误差不同，这会导致硅片的加工误差大，影响硅片的尺寸，存在不足。本实用新型涉及一种一体式硅片精细抛光机，其中一级带轮通过二级传动带与二级带轮连接，二级带轮与精抛砂轮同轴连接，一级带轮与粗抛砂轮同轴连接，第一电机与主动齿轮同轴连接，主动齿轮与从动齿轮通过啮合连接，从动齿轮与第一曲柄固定连接，第一曲柄与槽轮连接。本装置采用一体式结构，在一台设备中完成两道工序，不仅提高了加工效率，同时降低加工误差，提高硅片的尺寸精度。

主权项

一种一体式硅片精细抛光机，包括机体（1）、第一电机（2）、主动齿轮（3）、从动齿轮（4）、第一曲柄（5）、槽轮（6）、抛光液箱（7）、第二曲柄（8）、弹簧罩（9）、弹簧（10）、固定块（11）、第一液管（12）、第一喷头（13）、精抛砂轮（14）、二级带轮（15）、二级传动带（16）、一级带轮（17）、一级传动带（18）、主动带轮（19）、第二电机（20）、粗抛砂轮（21）、第二喷头（22）、第二液管（23）；其特征在于：机体（1）与第二电机（20）固定连接，第二电机（20）与主动带轮（19）固定连接，主动带轮（19）通过一级传动带（18）与一级带轮（17）连接，一级带轮（17）通过二级传动带（16）与二级带轮（15）连接，二级带轮（15）与精抛砂轮（14）同轴连接，一级带轮（17）与粗抛砂轮（21）同轴连接，第一电机（2）与主动齿轮（3）同轴连接，主动齿轮（3）与从动齿轮（4）通过啮合连接，从动齿轮（4）与第一曲柄（5）固定连接，第一曲柄（5）与槽轮（6）连接，槽轮（6）与第二曲柄（8）固定连接，第二曲柄（8）与弹簧罩（9）固定连接，弹簧罩（9）内部设有弹簧（10），弹簧（10）与固定块（11）连接，抛光液箱（7）通过第一液管（12）与第一喷头（13）连通，抛光液箱（7）通过第二液管（23）与第二喷头（22）连通。