[实用新型]真空贴合设备

摘要

一种真空贴合设备，包括第一承载台和第二承载台，第一承载台包括第一载台基板，第一载台基板具有相对的第一表面和第二表面，第一表面设有定位元件；第一载台基板还设有多个贯通第一表面和第二表面的通孔；第一承载台还包括粘附装置，粘附装置包括推动部、弹性元件和粘性元件，推动部设置在第一载台基板的第二表面一侧，粘性元件设置在通孔内并可沿通孔的轴向移动，粘性元件通过一弹性元件连接至推动部。本实用新型提供的真空贴合设备具有改良的承载台结构，可降低设备成本和设备维护成本。

主权项

一种真空贴合设备，包括第一承载台(100)和第二承载台(200)，其特征在于，所述第一承载台(100)包括第一载台基板(110)，所述第一载台基板(110)具有相对的第一表面(111)和第二表面(112)，所述第一表面(111)设有定位元件(120)；所述第一载台基板(110)还设有多个贯通所述第一表面(111)和所述第二表面(112)的通孔(130)；所述第一承载台(100)还包括若干粘附装置(140)，每一个所述粘附装置(140)均包括推动部(141)、弹性元件(142)和粘性元件(143)，所述推动部(141)设置在所述第一载台基板(110)的第二表面(112)一侧，所述粘性元件(143)设置在所述通孔(130)内并可沿所述通孔(130)的轴向移动，每一所述粘性元件(143)通过一所述弹性元件(142)连接至所述推动部(141)。