[实用新型]一种晶片抛光系统有效
| 申请号： | 201620663042.8 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN205734404U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张荣钟;邓有财;林旭明;林宗民;邱树添 | 申请（专利权）人： | 厦门三安光电有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/11;B24B37/34;B24B55/02;B24B49/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种具有自动控温装置的晶片抛光系统，其可根据各个温度传感器反馈的抛光盘的温度，进行自动调节冷却水的温度及流量。本实用新型解决上述问题的技术方案为：晶片抛光系统，包括：抛光台，其上设有抛光盘，其上表面为抛光面，温度传感器，设置于所述抛光盘的下表面；冷却水供应装置，其通过冷却水管路向所述抛光盘供应冷却水；自动控温装置，用于接收所述温度传感器测试的抛光盘的温度，并根据所述温度实时控制所述冷却水供应装置向所述抛光盘供应的冷却水的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 抛光 系统 | ||
【主权项】：
晶片抛光系统，包括：抛光台，其上设有抛光盘，所述抛光盘的上表面为抛光面，温度传感器，设置于所述抛光盘的下表面；冷却水供应装置，其通过冷却水管路向所述抛光盘供应冷却水；自动控温装置，用于接收所述温度传感器测试的抛光盘的温度，并根据所述温度实时控制所述冷却水供应装置向所述抛光盘供应的冷却水的温度。
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