[实用新型]一种真空镀膜机有效
| 申请号： | 201620646462.5 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN205741197U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 闫哲;周林 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机，它涉及镀膜机技术领域；机架的内部分别设置有第一过渡腔、镀膜腔、第二过渡腔，第一过渡腔、镀膜腔、第二过渡腔之间依次通过真空隔离阀连接，镀膜腔、第二过渡腔的内部安装有镀膜支架，第一过渡腔的一侧安装有过渡门，真空吸泵安装在机架的侧面，且真空吸泵通过管道分别与第一过渡腔、镀膜腔、第二过渡腔的抽真空口连接，且抽真空口上安装有单向气阀，气液分离器安装在真空吸泵的管道上，电弧溅射源机构安装在镀膜腔的内部，支架传输轨安装在机架的内部，且支架传输轨与镀膜腔、第二过渡腔连接；本实用新型便于实现快速抽真空与真空镀膜，同时传输快速，节省时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机，其特征在于：它包含机架、第一过渡腔、镀膜腔、第二过渡腔、真空隔离阀、真空抽泵、过渡门、支架传输轨、镀膜支架、电弧溅射源机构、气液分离器、单向气阀；机架的内部分别设置有第一过渡腔、镀膜腔、第二过渡腔，第一过渡腔、镀膜腔、第二过渡腔之间依次通过真空隔离阀连接，镀膜腔、第二过渡腔的内部安装有镀膜支架，第一过渡腔的一侧安装有过渡门，真空吸泵安装在机架的侧面，且真空吸泵通过管道分别与第一过渡腔、镀膜腔、第二过渡腔的抽真空口连接，且抽真空口上安装有单向气阀，气液分离器安装在真空吸泵的管道上，电弧溅射源机构安装在镀膜腔的内部，支架传输轨安装在机架的内部，且支架传输轨与镀膜腔、第二过渡腔连接。
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