[实用新型]具有双轴致动的微机械结构及光学类型的MEMS设备

摘要

一种具有双轴致动的微机械结构，具有框架，其在内部限定了窗并且通过第一弹性元件被弹性地连接到相对于基底被固定的锚固结构；致动结构，可操作地耦合到框架以用于生成第一致动移动；移动质量，被布置在窗内并且通过扭转型的第二弹性元件弹性地耦合到框架，使得移动质量在第一致动移动中被刚性地耦合到框架，并且针对相同的移动质量进一步限定扭转型的第二致动轴线。质量分布与移动质量关联，从而通过惯性效应生成作为第一致动移动的函数的移动质量围绕第二致动轴线的旋转的第二致动移动，该微机械结构具有改进的制动效率。本实用新型还公开了一种包括上述微机械结构的光学类型的MEMS设备。

主权项

一种具有双轴致动的微机械结构(20)，其特征在于，包括：框架(2)，所述框架(2)内部限定窗(5)并且由第一弹性元件(6)弹性地连接到相对于基底(8)固定的锚固结构(7)；致动结构(10)，所述致动结构(10)可操作地耦合到所述框架(2)并且被配置为生成所述框架(2)相对于第一致动轴线(x；z)的第一致动移动；移动质量(4)，所述移动质量(4)被布置在所述窗(5)内并且被扭转型的第二弹性元件(9)弹性地耦合到所述框架(2)，所述移动质量(4)被配置为使得所述移动质量(4)在所述第一致动移动中被刚性地耦合到所述框架(2)，并且针对所述移动质量(4)进一步限定扭转型的第二致动轴线(y)，质量分布与所述移动质量(4)关联，至少相对于所述第二致动轴线(y)是非对称的，并且被配置为通过惯性效应生成作为所述第一致动移动的函数的所述移动质量(4)围绕所述第二致动轴线(y)的旋转的第二致动移动。