[实用新型]清洁装置以及具有清洁装置的高温制程装置

摘要

本实用新型公开一种清洁装置以及具有清洁装置的高温制程装置，清洁装置包含输送平台、吸气模块与刮除单元。输送平台包含滚轮。吸气模块包含抽气泵与吸嘴头。抽气泵连接吸嘴头，且吸嘴头具有抽气口。刮除单元位于抽气口内，且刮除单元介于滚轮与吸嘴头之间。当滚轮朝一旋转方向转动，刮除单元位于一区域内，区域的第一边界为一通过滚轮轴心的铅垂面，区域的第二边界是第一边界沿所述旋转方向旋转45度角所形成的一通过滚轮轴心的边界面。

主权项

一种清洁装置，其特征在于，包含：一输送平台，包含一滚轮，且该滚轮具有一轴心；一吸气模块，包含一抽气泵与一吸嘴头，该抽气泵连接该吸嘴头，且该吸嘴头具有一抽气口；以及一刮除单元，该刮除单元位于该抽气口内，且该刮除单元介于该滚轮与该吸嘴头之间，其中，当该滚轮朝一旋转方向转动，该刮除单元位于一区域内，该区域的一第一边界为一通过该轴心的铅垂面，该区域的一第二边界是以该第一边界为依据，而以该旋转方向旋转45度角所形成的一通过该轴心的边界面。