[实用新型]一种激光清除多晶硅还原炉钟罩氧化皮的装置有效

专利信息
申请号: 201620598269.9 申请日: 2016-06-17
公开(公告)号: CN205869716U 公开(公告)日: 2017-01-11
发明(设计)人: 申请(专利权)人:
主分类号: B23K26/36 分类号: B23K26/36
代理公司: 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙)11017 代理人: 韩登营,张焕亮
地址: 430000 湖北省武汉市武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型公开了一种激光清除多晶硅还原炉钟罩氧化皮的装置,包括绕圆周均匀分布的支撑台柱,所述支撑台柱中间设有支架;所述支架上端设有旋转工作盘,旋转工作盘中心设有Z轴向滑轨;所述Z轴向滑轨顶端设有X轴向滑轨,X轴向滑轨上设有激光发射头;所述绕圆周均匀分布的支撑台柱外设有激光发生器。本实用新型不仅环保,且省时,省力,同时节约了企业生产成本,充分提高生产效率,为企业带来优厚的回报。
搜索关键词: 一种 激光 清除 多晶 还原 炉钟罩 氧化 装置
【主权项】:
一种激光清除多晶硅还原炉钟罩氧化皮的装置,其特征在于:包括绕圆周均匀分布的支撑台柱(1),所述支撑台柱(1)中间设有支架(2);所述支架(2)上端设有旋转工作盘(3),旋转工作盘(3)中心设有Z轴向滑轨(4);所述Z轴向滑轨(4)顶端设有X轴向滑轨(5),X轴向滑轨(5)上设有激光发射头(6);所述绕圆周均匀分布的支撑台柱(1)外设有激光发生器(9)。
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