[实用新型]一种热丝CVD沉积系统的丝架结构有效
| 申请号： | 201620591954.9 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN205803590U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 邹杨;孙蕾;杨宜珍;邹松东;孙凌 | 申请（专利权）人： | 洛阳奥尔材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27 |
| 代理公司： | 洛阳市凯旋专利事务所41112 | 代理人： | 陆君 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种热丝CVD沉积系统的丝架结构，涉及一种丝架结构，包括固定钽丝杆A（1）、支撑架（2）、钽丝（3）、固定钽丝杆B（5）和丝架固定杆（4），在平行间隔设置的两根竖向支撑架（2）之间的两端分别设有固定钽丝杆A（1）和固定钽丝杆B（5），在固定钽丝杆B（5）的外侧设有拉簧固定组件（7），多根钽丝（3）的一端均布在固定钽丝杆A（1）上，多根钽丝（3）的另一端分别穿过固定钽丝杆B（5）后与拉簧固定组件（7）上设置的多根耐高温拉簧（6）固定连接；本实用新型通过将热丝架设置为竖直安装的方式，实现了热丝不下垂，基片台温场均匀的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 沉积 系统 结构 | ||
【主权项】：
一种热丝 CVD沉积系统的丝架结构，包括固定钽丝杆A（1）、支撑架（2）、钽丝（3）、固定钽丝杆B（5）和丝架固定杆（4），其特征是：在平行间隔设置的两根竖向支撑架（2）之间的两端分别设有固定钽丝杆A（1）和固定钽丝杆B（5），在固定钽丝杆B（5）的外侧设有拉簧固定组件（7），多根钽丝（3）的一端均布在固定钽丝杆A（1）上，多根钽丝（3）的另一端分别穿过固定钽丝杆B（5）后与拉簧固定组件（7）上设置的多根耐高温拉簧（6）固定连接。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
