[实用新型]一种实时检测器件真空度的抽真空系统

摘要

本实用新型属于测量、测试技术领域，具体涉及了一种实时检测器件真空度的抽真空装置。该装置在现有抽真空装置连接装置的连接腔体的下部内壁上刻设内螺纹的位置还开设有多个凹槽，多个凹槽内均安装有第一密封圈；手柄与连接腔体上部连接的位置安装有第二密封圈；连接腔体上连接有第二真空管道，第二真空管道上安装真空度测量装置。本实用新型的抽真空装置中的连接装置不仅密封效果好、易操作并且测试精度高。

主权项

一种实时检测器件真空度的抽真空系统，包括抽真空设备、安装在抽真空设备和待抽真空器件之间的真空管道上的抽真空连接装置；所述抽真空连接装置包括连接腔体、插装在连接腔体内的手柄，手柄端部螺纹连接有封口塞；封口塞的外壁上开设有外螺纹，连接腔体的下部内壁以及待抽真空器件的入口均刻设有所述外螺纹相适配的内螺纹；手柄旋转带动封口塞在连接腔体和控制待抽真空器件之间移动，控制待抽真空器件的开关；其特征在于：连接腔体的下部内壁上刻设内螺纹的位置还开设有多个凹槽，多个凹槽内均安装有第一密封圈；手柄与连接腔体上部连接的位置安装有第二密封圈；连接腔体上连接有第二真空管道，第二真空管道上安装真空度测量装置。