[实用新型]一种真空镀膜机的清洗机构

摘要

本实用新型涉及镀膜机的清洗技术领域，特别涉及一种真空镀膜机的清洗机构，阳极靶源设置在真空反应室的内腔顶部；真空管的进风端与真空反应室的内腔相连通；进液体管上分别设置有抽液泵和进液截止阀；气缸的伸缩轴端伸入到真空反应室的内腔后与排液门的上表面相固定连接；排液门的下表面抵压在密封环的上表面。在使用本实用新型时，当需要对真空反应室的内腔进行清洁时，真空泵截止阀关闭，注入清洗剂，用电机进行搅拌，使清洗剂与真空反应室的内腔充分接触反应；通过排液泵把清洗剂排出，此过程不需要人体接触到真空反应室的内腔，清洁效率快，降低操作的危险性。本实用新型具有结构简单，设置合理，制作成本低等优点。

主权项

一种真空镀膜机的清洗机构，它包括有真空反应室(4)、阳极靶源(7)、真空管(10)和抽真空机(11)；所述阳极靶源(7)设置在真空反应室(4)的内腔顶部；所述真空管(10)的出风端与抽真空机(11)相接通；真空管(10)的进风端与真空反应室(4)的内腔相连通；其特征在于：它还包括有清洗剂桶(1)、进液体管(2)、排液门(13)、锥形漏斗(14)和排液管(16)；所述进液体管(2)一端与清洗剂桶(1)相接通；进液体管(2)另一端与真空反应室(4)相连通；所述进液体管(2)上分别设置有抽液泵(3)和进液截止阀(6)；所述进液截止阀(6)设置在进液体管(2)的出口端；所述真空反应室(4)的外壁设置有电机支架(4‑1)；所述电机支架(4‑1)上设置有电机(5)；所述电机(5)的转轴端伸入到真空反应室(4)的内腔；所述电机(5)的转轴末端设置有搅拌桨；所述真空管(10)的进风端设置有真空泵截止阀(9)；所述真空反应室(4)的底部呈开口状；所述排液门(13)铰接在真空反应室(4)的内壁底部；所述排液门(13)的上表面设置有阴极靶座(12)；所述真空反应室(4)的顶部设置有气缸(8)；所述气缸(8)的伸缩轴端伸入到真空反应室(4)的内腔后与排液门(13)的上表面相固定连接；所述锥形漏斗(14)的上端呈开状；所述锥形漏斗(14)与真空反应室(4)之间设置有密封环(14‑1)；所述排液门(13)的下表面抵压在密封环(14‑1)的上表面；所述锥形漏斗(14)的底端与排液管(16)一端相连通；所述排液管(16)另一端清洗剂桶(1)相接通；所述排液管(16)上连接有排液泵(15)。