[实用新型]掩膜版、掩膜组件及显示装置有效

专利信息
申请号: 201620523960.0 申请日: 2016-05-27
公开(公告)号: CN205662587U 公开(公告)日: 2016-10-26
发明(设计)人: 乔永康;徐鹏;潘晟恺 申请(专利权)人: 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 滕一斌
地址: 230011 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种掩膜版、掩膜组件及显示装置,属于显示技术领域。所述掩膜版包括:第一掩膜条和第二掩膜条,所述第一掩膜条的长度方向垂直于框架的长度方向,所述第二掩膜条的长度方向平行于所述框架的长度方向,所述第一掩膜条设置于所述第二掩膜条之上,所述第一掩膜条与所述第二掩膜条存在交叠区域,其中,所述第一掩膜条和所述第二掩膜条均为拱形结构,所述拱形结构的两端的厚度大于中间的厚度。本实用新型解决了形成在衬底基板上的图形的质量较差的问题,实现了提高形成在衬底基板上的图形的质量的效果,用于蒸镀工艺。
搜索关键词: 掩膜版 组件 显示装置
【主权项】:
一种掩膜版,其特征在于,所述掩膜版包括:第一掩膜条和第二掩膜条,所述第一掩膜条的长度方向垂直于框架的长度方向,所述第二掩膜条的长度方向平行于所述框架的长度方向,所述第一掩膜条设置于所述第二掩膜条之上,所述第一掩膜条与所述第二掩膜条存在交叠区域,其中,所述第一掩膜条和所述第二掩膜条均为拱形结构,所述拱形结构的两端的厚度大于中间的厚度。
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