[实用新型]掩膜版、掩膜组件及显示装置有效
申请号: | 201620523960.0 | 申请日: | 2016-05-27 |
公开(公告)号: | CN205662587U | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
发明(设计)人: | 乔永康;徐鹏;潘晟恺 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 滕一斌 |
地址: | 230011 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种掩膜版、掩膜组件及显示装置,属于显示技术领域。所述掩膜版包括:第一掩膜条和第二掩膜条,所述第一掩膜条的长度方向垂直于框架的长度方向,所述第二掩膜条的长度方向平行于所述框架的长度方向,所述第一掩膜条设置于所述第二掩膜条之上,所述第一掩膜条与所述第二掩膜条存在交叠区域,其中,所述第一掩膜条和所述第二掩膜条均为拱形结构,所述拱形结构的两端的厚度大于中间的厚度。本实用新型解决了形成在衬底基板上的图形的质量较差的问题,实现了提高形成在衬底基板上的图形的质量的效果,用于蒸镀工艺。 | ||
搜索关键词: | 掩膜版 组件 显示装置 | ||
【主权项】:
一种掩膜版,其特征在于,所述掩膜版包括:第一掩膜条和第二掩膜条,所述第一掩膜条的长度方向垂直于框架的长度方向,所述第二掩膜条的长度方向平行于所述框架的长度方向,所述第一掩膜条设置于所述第二掩膜条之上,所述第一掩膜条与所述第二掩膜条存在交叠区域,其中,所述第一掩膜条和所述第二掩膜条均为拱形结构,所述拱形结构的两端的厚度大于中间的厚度。
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