[实用新型]金属料盒锁止结构有效
| 申请号： | 201620523785.5 | 申请日： | 2016-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN205828357U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 郑刚 | 申请（专利权）人： | 南通富士通微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)11435 | 代理人： | 陈姗姗 |
| 地址： | 226006 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种金属料盒锁止结构，包括料盒转换器和带有锁止杆的金属料盒，还包括接近式开关感应器；所述接近式开关感应器位于所述锁止杆解卡位置正下方；所述锁止杆下端设有感应柱；当所述锁止杆位于所述解卡位置时，所述接近式开关感应器感应到所述感应柱而接通，从而与所述接近式开关感应器连接的所述料盒转换器的开关处于可被启动状态。根据本申请实施例的技术方案，当锁止杆位于解卡位置时，料盒转换器的开关处于可被启动状态；反之当锁止杆未处于解卡位置时料盒转换器开关无法被启动，防止了锁止杆忘记解卡造成晶圆撞击锁止杆，进而造成晶圆破片或者机器损坏的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 料盒锁止 结构 | ||
【主权项】：
一种金属料盒锁止结构，包括料盒转换器和带有锁止杆的金属料盒，其特征在于，还包括接近式开关感应器；所述接近式开关感应器位于所述锁止杆解卡位置正下方；所述锁止杆下端设有感应柱；当所述锁止杆位于所述解卡位置时，所述接近式开关感应器感应到所述感应柱而接通，从而与所述接近式开关感应器连接的所述料盒转换器的开关处于可被启动状态。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
