[实用新型]一种新型结构多晶铸锭炉用的坩埚有效
| 申请号： | 201620523674.4 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN205803636U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 裘承;邱小林;彭健飞;薛德均;甘志凯 | 申请（专利权）人： | 南昌理工学院 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人： | 何世磊 |
| 地址： | 330000 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种新型结构多晶铸锭炉用的坩埚，包括方形的坩埚本体及坩埚本体内的多个竖直的隔板，所述隔板将坩埚本体分隔成多个区间，所述隔板与所述坩埚本体可拆卸地连接，所述坩埚本体的内表面及所述隔板的表面依次凃敷有氧化硅层、氮化硅层、多晶硅颗粒层，所述多晶硅颗粒层上设置多个凹陷。本实用新型通过设置隔板将坩埚分隔成多个结晶区间，提高多晶硅的生产速度，坩埚本体的内壁和隔板的壁面通过多晶硅颗粒层和凹陷形成凹凸起伏的形貌，引导多晶硅在坩埚本体及隔板的壁面上生长大小均匀的小晶粒，保证多晶硅均匀快速地生长，且该隔板与坩埚本体凃敷保护涂层，以防止二氧化硅和熔融硅发生反应，进而避免硅锭污染和开裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 结构 多晶 铸锭 坩埚 | ||
【主权项】：
一种新型结构多晶铸锭炉用的坩埚，其特征在于，包括方形的坩埚本体及坩埚本体内的多个竖直的隔板，所述隔板将坩埚本体分隔成多个区间，所述隔板与所述坩埚本体可拆卸地连接，所述坩埚本体的内表面及所述隔板的表面均依次凃敷有氧化硅层、氮化硅层、多晶硅颗粒层，所述多晶硅颗粒层上设置多个凹陷。
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