[实用新型]一种太赫兹波成像系统

摘要

本申请公开了一种太赫兹波成像系统，用于对待测样品进行成像，包括太赫兹源、聚光镜、物镜、太赫兹探测器、处理装置和中心遮挡装置。太赫兹源用于发射太赫兹波，聚光镜用于对太赫兹源发射的太赫兹波进行准直和聚焦，并将太赫兹波照射到待测样品上，物镜用于收集从待测样品上散射出来的太赫兹波，太赫兹探测器用于接收物镜汇聚的太赫兹波，并根据接收到的太赫兹波生成太赫兹波信号，处理装置用于对太赫兹波信号进行处理，得到待测样品的太赫兹波图像。中心遮挡装置位于太赫兹波进入待测样品前的传输路径上，用于遮挡经过聚光镜的中心区域的太赫兹波，能够解决明场成像方式下不易体现待测样品的表面纹理、凸高和缺陷等细节部分的问题。

主权项

一种太赫兹波成像系统，其特征在于，包括依次排列太赫兹源、聚光镜、物镜和太赫兹探测器、还包括与所述太赫兹探测器相连接的处理装置和设置在所述聚光镜上的中心遮挡装置，其中：所述太赫兹源用于发射太赫兹波；所述聚光镜位于所述太赫兹源的前方，用于对所述太赫兹源发射的太赫兹波准直和聚焦到待测样品上；所述物镜设置在待测样品的后方，用于收集从所述待测样品上散射出来的太赫兹波，并汇聚到所述太赫兹探测器；太赫兹探测器用于接收所述物镜汇聚的太赫兹波，并根据接收到的太赫兹波生成太赫兹波信号；所述处理装置用于对所述太赫兹波信号进行处理，得到所述待测样品的太赫兹波图像；所述中心遮挡装置用于遮挡经过所述聚光镜的中心区域的太赫兹波。