[实用新型]一种干式刻蚀机的晶片托盘

摘要

一种干式刻蚀机的晶片托盘，属于刻蚀机技术领域，包括第二滑轨、控制器、支杆、第二滑块、第三气缸、夹槽、第一滑轨、第一气缸、第二气缸、第一滑块、第一夹板、氦气供给管、卡槽、底台、第一抵板、第二抵板、第二夹板和第四气缸，所述底台上安装卡槽，底台和卡槽上均安装氦气供给管，卡槽左右两侧各安装夹槽，夹槽内安装第一滑轨，第一滑轨上安装第一滑块，第一滑块右侧安装第一夹板，第二气缸安装在卡槽内，第二气缸的活塞杆与第一夹板相连，卡槽内安装第一气缸，第一夹板设有第一小洞；本实用新型的优点是：能使气体顺利流动。

主权项

一种干式刻蚀机的晶片托盘，包括第二滑轨（1）、控制器（2）、支杆（3）、第二滑块（4）、第三气缸（5）、夹槽（6）、第一滑轨（7）、第一气缸（8）、第二气缸（9）、第一滑块（10）、第一夹板（11）、氦气供给管（12）、卡槽（13）、底台（14）、第一抵板（15）、第二抵板（16）、第二夹板（17）和第四气缸（18），其特征是：所述底台（14）上安装卡槽（13），底台（14）和卡槽（13）上均安装氦气供给管（12），卡槽（13）左右两侧各安装夹槽（6），夹槽（6）内安装第一滑轨（7），第一滑轨（7）上安装第一滑块（10），第一滑块（10）右侧安装第一夹板（11），第二气缸（9）安装在卡槽（13）内，第二气缸（9）的活塞杆与第一夹板（11）相连，卡槽（13）内安装第一气缸（8），第一夹板（11）设有第一小洞，第一气缸（8）的活塞杆从第一小洞穿过第一夹板（11），第一气缸（8）的活塞杆上安装第一抵板（15），卡槽（13）上安装第三气缸（5），第三气缸（5）的活塞杆上安装支杆（3），支杆（3）右侧安装第二滑块（4），第二滑块（4）安装在第二滑轨（1）上，第二滑轨（1）安装在卡槽（13）右侧，第二滑块（4）右侧安装第二夹板（17），第二夹板（17）内安装第四气缸（18），第二夹板（17）上设有第二小洞，第四气缸（18）的活塞杆从第二小洞伸出第二夹板（17）外，第四气缸（18）的活塞杆上安装第二抵板（16），控制器（2）安装在夹槽（6）上。