[实用新型]一种干式刻蚀设备的刻蚀底盘有效
| 申请号： | 201620502802.7 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN205944030U | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 竺平军 | 申请（专利权）人： | 浙江优众新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 316000 浙江省舟山*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种干式刻蚀设备的刻蚀底盘，属于干式刻蚀设备技术领域，包括移动块、直线电机、控制器、工作台、气缸、第一台板、滑块、滑轨、第二台板、支块、圆盘、气体喷射盘和气体喷射孔，所述工作台上安装第一台板，第一台板内左右两侧各安装气缸，气缸的活塞杆伸出第一台板外，气缸的活塞杆上安装第二台板，第二台板安装在滑块上，滑块安装在滑轨上，滑轨安装在工作台上，第一台板和第二台板上各安装圆盘；本实用新型的优点是能调节气体喷射盘的高度，且能使晶片的周边都能均匀的与气体喷射孔相互对应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 设备 底盘 | ||
【主权项】：
一种干式刻蚀设备的刻蚀底盘，包括移动块（1）、直线电机（2）、控制器（3）、工作台（4）、气缸（5）、第一台板（6）、滑块（7）、滑轨（8）、第二台板（9）、支块（10）、圆盘（11）、气体喷射盘（12）和气体喷射孔（13），其特征是：所述工作台（4）上安装第一台板（6），第一台板（6）内左右两侧各安装气缸（5），气缸（5）的活塞杆伸出第一台板（6）外，气缸（5）的活塞杆上安装第二台板（9），第二台板（9）安装在滑块（7）上，滑块（7）安装在滑轨（8）上，滑轨（8）安装在工作台（4）上，第一台板（6）和第二台板（9）上各安装圆盘（11），圆盘（11）上方设有气体喷射盘（12），气体喷射盘（12）左右两侧各安装移动块（1），移动块（1）安装在直线电机（2）上，直线电机（2）安装在支块（10）上，支块（10）安装在圆片侧面，控制器（3）安装在工作台（4）上，控制器（3）通过导线与直线电机（2）相连。
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