[实用新型]一种涂胶自转机的光刻胶蒸汽回收装置

摘要

一种涂胶自转机的光刻胶蒸汽回收装置，属于刻蚀机技术领域，包括控制器、第二电机、轴承、转轴、第一齿轮、第二移动块、气缸、第二齿轮、内壳、排出管、微型吸尘器、第二直线电机、绳子、滚轮、第一电机、轮架、第二顶板、第一移动块、第一直线电机、第一顶板、外壳、多级伸缩杆和支板，所述内壳安装在外壳内，内壳顶部左右两侧各安装第一顶板，第一顶板下安装第一直线电机，第一直线电机上安装第一移动块，第一移动块下安装第二顶板，第二顶板下安装轮架，轮架上安装滚轮，滚轮的轴通过联轴器与第一电机相连，第一电机安装在轮架上，绳子上端缠绕在滚轮上；本实用新型的优点是：能调节顶板出气口大小。

主权项

一种涂胶自转机的光刻胶蒸汽回收装置，包括控制器（1）、第二电机（2）、轴承（3）、转轴（4）、第一齿轮（5）、第二移动块（6）、气缸（7）、第二齿轮（8）、内壳（9）、排出管（10）、微型吸尘器（11）、第二直线电机（12）、绳子（13）、滚轮（14）、第一电机（15）、轮架（16）、第二顶板（17）、第一移动块（18）、第一直线电机（19）、第一顶板（20）、外壳（21）、多级伸缩杆（22）和支板（23），其特征是：所述内壳（9）安装在外壳（21）内，内壳（9）顶部左右两侧各安装第一顶板（20），第一顶板（20）下安装第一直线电机（19），第一直线电机（19）上安装第一移动块（18），第一移动块（18）下安装第二顶板（17），第二顶板（17）下安装轮架（16），轮架（16）上安装滚轮（14），滚轮（14）的轴通过联轴器与第一电机（15）相连，第一电机（15）安装在轮架（16）上，绳子（13）上端缠绕在滚轮（14）上，绳子（13）下端安装在轴承（3）上，轴承（3）安装在转轴（4）上，转轴（4）安装在第二直线电机（12）上，转轴（4）上安装第一齿轮（5），第一齿轮（5）右侧安装第二齿轮（8），第二齿轮（8）安装在第二电机（2）的输出轴上，第二电机（2）安装在支板（23）下，支板（23）安装在多级伸缩杆（22）下，多级伸缩杆（22）安装在第二顶板（17）下，第二直线电机（12）上安装第二移动块（6），第二移动块（6）下安装气缸（7），气缸（7）的活塞杆上安装微型吸尘器（11），外壳（21）下安装排出管（10），控制器（1）安装在外壳（21）上，控制器（1）通过导线分别与第一电机（15）、第二电机（2）、第一直线电机（19）、第二直线电机（12）和微型吸尘器（11）相连。