[实用新型]一种多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种能够实现节能减排的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉通过在进气管上设置气体预热装置，气体预热装置可以对进入炉体内的氩气进行加热，避免温度较低的氩气进入炉体内对炉体内的温度造成较大的影响，在多晶硅铸锭炉工作的过程中，可以保证炉体内的温度保持在一个稳定的范围内，避免对多晶硅锭的生长造成较大的影响，另外，利用抽气泵将抽气孔排出的高温废氩气通过引气管导入空腔内，利用高温废氩气对新的氩气进行预热，不但可以充分利用高温废氩气中含有的热量，实现节能减排，同时，被预热的氩气通入炉体内，可以减少氩气带走炉体内的热量，进一步实现节能减排。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。

主权项

一种多晶硅铸锭炉，包括具有夹层空间的炉体(1)，炉体(1)上设置有抽气孔(2)，所述炉体(1)内设置有下托保温板(3)与保温罩(4)，保温罩(4)放置在下托保温板(3)上，保温罩(4)与下托保温板(3)共同构成保温隔热笼，所述保温罩(4)上连接有能够使保温罩(4)上下移动的升降杆(5)，所述保温隔热笼内设置有坩埚(6)、坩埚护板(7)、石墨底板(8)、石墨盖板(9)、侧部加热器(10)、顶部加热器(11)、热交换平台(12)，所述石墨底板(8)放置在热交换平台(12)上，坩埚(6)放置在石墨底板(8)上，坩埚护板(7)设置在坩埚(6)外侧，侧部加热器(10)设置在坩埚护板(7)的外侧，石墨盖板(9)设置在坩埚(6)上方，顶部加热器(11)设置在石墨盖板(9)上方，所述热交换平台(12)通过石墨立柱(22)固定在炉体(1)底部，坩埚护板(7)的上端设置有尾气排放孔(13)，还包括进气管(14)，所述进气管(14)的一端与氩气源(15)相连，另一端依次穿过炉体(1)、保温罩(4)、顶部加热器(11)、石墨盖板(9)后伸入坩埚(6)内，其特征在于：所述进气管(14)上设置有气体预热装置(16)，所述气体预热装置(16)包括密闭的空腔(161)，所述空腔(161)内设置有换热管(162)，所述换热管(162)的两端分别延伸至空腔(161)外并与进气管(14)连通，所述氩气源(15)内的氩气依次沿进气管(14)、换热管(162)、进气管(14)流入坩埚(6)内，所述换热管(162)与空腔(161)的连接处密封，所述空腔(161)上连接有引气管(163)与排气管(164)，所述引气管(163)的一端与炉体(1)上设置的抽气孔(2)连通，引气管(163)的另一端与空腔(161)内部连通，所述引气管(163)上设置有抽气泵(165)，所述排气管(164)与空腔(161)内部连通。