[实用新型]防离子溅射的微型潘宁离子源有效
| 申请号： | 201620489033.1 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN205789863U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 汪永安;陆杰;白超良;刘洋 | 申请（专利权）人： | 西安冠能中子探测技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/04 | 分类号： | H01J27/04 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 杨引雪 |
| 地址： | 710123 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种防离子溅射的微型潘宁离子源，阴极的形状为圆形台阶状，所述绝缘陶瓷环包含外陶瓷环和内陶瓷环，外陶瓷环包括一个水平圆环，沿水平圆环外沿上表面设置有筒状陶瓷环，沿水平圆环内沿下表面设置有筒状陶瓷环；内陶瓷环为筒状陶瓷环垂直设置在外陶瓷环水平圆环的上表面处，内陶瓷环的外侧与外陶瓷环的内侧有间距，外陶瓷环和内陶瓷环为一体结构。本实用新型绝不会存在因离子溅射而使阴阳极之间发生短路现象。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 溅射 微型 离子源 | ||
【主权项】：
一种防离子溅射的微型潘宁离子源，包括阳极筒、阴极、输出阴极、离子源罩、封接环、定位环、主磁钢、磁环和绝缘陶瓷环，其特征在于：所述阴极的形状为圆形台阶状，所述绝缘陶瓷环包含外陶瓷环和内陶瓷环，外陶瓷环包括一个水平圆环，沿水平圆环外沿上表面设置有筒状陶瓷环，沿水平圆环内沿下表面设置有筒状陶瓷环；内陶瓷环为筒状陶瓷环垂直设置在外陶瓷环水平圆环的上表面处，内陶瓷环的外侧与外陶瓷环的内侧有间距，外陶瓷环和内陶瓷环为一体结构。
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