[实用新型]一种用于硅片背面损伤设备的片盒架

摘要

一种用于硅片背面损伤设备的片盒架，包括用于放置片盒的片台，所述片盒通过两个侧角卡具以及一个尾部卡具固定安装在片台上，两个侧角卡具沿片盒长度方向对称设置在片盒进料口的两个顶角处，所述侧角卡具包括连接块和片盒固定卡条，该片盒固定卡条设置在连接块的上表面且通过连接块与片台固定连接，所述片盒固定卡条一端具有加强块，片盒固定卡条的另一端延伸出连接块的侧边缘以挡住片盒的凸缘；所述尾部卡具包括固定挡块，在固定挡块的两侧对称设置有呈台阶状分布的多个卡台，且处于同一高度的两侧卡台与不同尺寸的片盒尾部卡槽配合卡接。在提高硅片背面损伤设备的利用率的同时解决了因水流的冲击造成片盒移位的问题，提高了硅片的产品质量。

主权项

一种用于硅片背面损伤设备的片盒架，包括设置在硅片背面损伤设备出料部的支撑架和若干个设置在支撑架上用于放置片盒（2）的片台（1），所述片盒（2）一端设置有尾部卡槽，另一端开设有进料口，且进料口的两个侧壁外翻形成凸缘，其特征在于：所述片盒（2）通过两个侧角卡具（3）以及一个尾部卡具（4）固定安装在片台（1）上，两个侧角卡具（3）沿片盒（2）长度方向对称设置在片盒（2）进料口的两个顶角处，所述侧角卡具（3）包括连接块（301）和片盒固定卡条（302），该片盒固定卡条（302）设置在连接块（301）的上表面且通过连接块（301）与片台（1）固定连接，所述片盒固定卡条（302）一端具有加强块（303），片盒固定卡条（302）的另一端延伸出连接块（301）的侧边缘以挡住片盒（2）的凸缘，防止因水流的冲击造成片盒（2）移位；所述尾部卡具（4）包括固定挡块（401），在固定挡块（401）的两侧对称设置有呈台阶状分布的多个卡台，且处于同一高度的两侧卡台与不同尺寸的片盒（2）尾部卡槽配合卡接。