[实用新型]一种硅片甩干用防滑垫片

摘要

一种硅片甩干用防滑垫片，包括一可插入硅片片盒H面的陪片，陪片上对称设置有两根防滑杆，两根防滑杆的端部均设置有两个片盒卡轮，且两个片盒卡轮之间具有间隙，以使陪片在插入硅片片盒H面的插槽内后，硅片片盒U面卡入到该间隙内。本实用新型通过设置可插入硅片片盒H面的陪片以及在陪片上设置两根防滑杆，并在防滑杆的端部分别设置两个卡住硅片片盒U面的片盒卡轮，从而构成了一个稳定的支撑结构，在下降过程中，防滑杆就能有效的阻挡硅片的滑出，陪片、防滑杆和片盒卡轮均为聚丙烯材料加工而成，具有良好的耐热、耐腐蚀性，可以满足通过清洗过程中的加热化学液槽。

主权项

一种硅片甩干用防滑垫片，其特征在于：包括一可插入硅片片盒H面（5）的陪片（1），陪片（1）上对称设置有两根防滑杆（2），两根防滑杆（2）的端部均设置有两个片盒卡轮（3），且两个片盒卡轮（3）之间具有间隙（4），以使陪片（1）在插入硅片片盒H面（5）的插槽内后，硅片片盒U面（6）卡入到该间隙（4）内。