[实用新型]一种真空隔膜阀

摘要

本实用新型公开了一种真空隔膜阀，包括阀座、阀盖、隔膜、开关阀孔、偏置阀口、主真空端口、副真空端口；所述阀座内设有偏置阀口，所述偏置阀口与主真空端口连通，所述阀座上设有副真空端口，所述阀座上方装配有隔膜和阀盖，所述阀盖上设有开关阀孔，所述隔膜上的膜碗与偏置阀口中心匹配设置，相互之间密封关闭或者分离开通；本新型采用内置的偏置阀口与偏置的隔膜相互密封配合，并采用真空负压和大气控制隔膜与偏置阀口的开启或者关闭；结构简单、密封性能好，阀门控制灵敏，使用寿命长；简捷的阀体设计，制造成本大幅降低；真空隔膜阀使用过程中装配和维护更加方便可靠、使用寿命更长。

主权项

一种真空隔膜阀，其特征在于，包括阀座、阀盖、隔膜、开关阀孔、控制腔、偏置阀口、主真空端口、副真空端口、固定螺栓、阀腔；所述阀座为半圆形体，所述阀座内设置有圆形的偏置阀口，所述偏置阀口与主真空端口通过倾斜一定角度的管道连通，所述阀座上还设置有副真空端口，所述副真空端口的中心线、偏置阀口的中心线、主真空端口的中心线位于同一轴线上；所述阀座上方装配有隔膜，所述隔膜为圆形的垫圈和偏置的膜碗一体式成型；所述隔膜上方通过固定螺栓固定设置有阀盖，所述阀盖上方设置有开关阀孔，所述膜碗与偏置阀口中心匹配设置，相互之间密封关闭或者分离开通；所述膜碗与阀座之间形成阀腔，所述膜碗与阀盖之间形成控制腔。