[实用新型]一种蒸镀源及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201620444993.6 | 申请日： | 2016-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN205662589U | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 张朝波;刘亮亮;唐亮;田宏伟;康峰;白妮妮;韩帅;绰洛鹏;贾敏慧;闵天圭 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 017000 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种蒸镀源及蒸镀装置，涉及真空蒸发镀膜领域。能够节省在蒸镀过程中更换喷嘴的时间，提高蒸镀效率。该蒸镀源包括用于容纳蒸镀材料的坩埚，坩埚的上表面设置有坩埚开口，坩埚开口的上方安装有喷嘴支架，喷嘴支架与坩埚的上表面接触。喷嘴支架上设置有N个喷口，喷嘴支架用于相对于坩埚转动或移动，以使得坩埚开口与N个喷口中的一个重叠，N≥1，N为正整数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀源 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀源，其特征在于，包括用于容纳蒸镀材料的坩埚，所述坩埚的上表面设置有坩埚开口，所述坩埚开口的上方安装有喷嘴支架，所述喷嘴支架与所述坩埚的上表面接触；所述喷嘴支架上设置有N个喷口，所述喷嘴支架用于相对于坩埚转动或移动，以使得所述坩埚开口与所述N个喷口中的一个重叠，N≥1，N为正整数。
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