[实用新型]单片湿法作业的药液喷洒装置

摘要

本实用新型提供了一种单片湿法作业的药液喷洒装置，包括喷头，所述喷头相对硅片的喷射角度可调。本实用新型中，由于喷头的喷射角度可调，药液喷洒角度随硅片位置的喷射位置发生变化，如此使得硅片不同点上的速度不同，药液喷洒角度也不同，但相对速度可以相同，从而保证药液效果的均一性。

主权项

一种单片湿法作业的药液喷洒装置，其特征在于：包括喷头，硅片以自身圆心为圆心旋转，所述喷头沿着平行于硅片表面的方向移动，所述喷头相对硅片的喷射角度可调；还包括旋转驱动装置，所述喷头安装于所述旋转驱动装置，所述旋转驱动装置包括旋转驱动源、输出轴和传动轴，所述传动轴平行连接于所述输出轴，所述喷头安装于所述传动轴，所述驱动源驱动所述输出轴旋转，进而传动所述传动轴旋转，所述驱动源采用电机。