[实用新型]一种有害气体排气控制装置

摘要

一种有害气体排气控制装置，属于抽真空技术领域。该有害气体排气控制装置，包括真空泵，波纹管，排气管路Ⅰ，排气管路Ⅱ，支排气管路Ⅰ，支排气管路Ⅱ，过滤筒和电动球阀，所述排气管路Ⅰ一端分别与支排气管路Ⅰ和支排气管路Ⅱ一端连接，支排气管路Ⅰ与支排气管路Ⅱ并联，支排气管路Ⅰ设置有电动球阀，支排气管路Ⅱ设置有过滤筒，支排气管路Ⅰ另一端、支排气管路Ⅱ另一端与排气管路Ⅱ一端连接，排气管路Ⅱ设置有波纹管，所述真空泵与排气管路Ⅱ连接。本实用新型采用并联管路的方式控制有毒气体的排放，可以自动切换选择支排气管路Ⅰ或支排气管路Ⅱ进行排气，当反应腔体产生有毒气体，通过支排气管路Ⅱ进行抽真空维持反应腔体的恒定压力。

主权项

一种有害气体排气控制装置，其特征在于：包括真空泵(1)，波纹管(2)，排气管路Ⅰ(8)，排气管路Ⅱ(3)，支排气管路Ⅰ(6)，支排气管路Ⅱ(5)，过滤筒(4)和电动球阀(7)，所述排气管路Ⅰ(8)一端分别与支排气管路Ⅰ(6)和支排气管路Ⅱ(5)的一端连接，支排气管路Ⅰ(6)与支排气管路Ⅱ(5)并联，支排气管路Ⅰ(6)设置有电动球阀(7)，支排气管路Ⅱ(5)设置有过滤筒(4)，支排气管路Ⅰ(6)另一端、支排气管路Ⅱ(5)另一端与排气管路Ⅱ(3)一端连接，排气管路Ⅱ(3)设置有波纹管(2)，所述真空泵(1)与排气管路Ⅱ(3)连接。