[实用新型]掩膜框架有效
| 申请号： | 201620407306.3 | 申请日： | 2016-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN205662586U | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 乔永康;潘晟恺;徐鹏 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜框架，该掩膜框架包括设置有凹槽的基体以及掩膜固定件，并且掩膜固定件固定于凹槽中，能够使固定于掩膜固定件上的掩膜镀膜张紧布设在掩膜框架上。将掩膜框架设计为可拆卸的基体以及掩膜固定件，在使用后只需打磨用于固定掩膜镀膜的掩膜固定件，不会对基体造成任何的损坏，报废时也只需报废掩膜固定件，从而有效降低了生产中掩膜框架的运用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 框架 | ||
【主权项】：
一种掩膜框架，其特征在于，所述掩膜框架包括基体，所述基体设置有凹槽；所述掩膜框架还包括用于固定掩膜镀膜的掩膜固定件，所述掩膜固定件固定于所述凹槽中，使固定于所述掩膜固定件上的掩膜镀膜张紧布设在所述掩膜框架上。
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