[实用新型]掩膜板、母板、掩膜板制造设备和显示基板蒸镀系统有效
| 申请号： | 201620398823.9 | 申请日： | 2016-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN205556762U | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 嵇凤丽;梁逸南;白珊珊 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 葛荆;李峥 |
| 地址： | 017020 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型的实施例涉及掩膜板、母板、掩膜板制造设备和显示基板蒸镀系统。掩膜板包括具有多个相互隔开且并行排列的图形掩膜块的图形掩膜层，和具有多个相互隔开且并行排列的覆盖掩膜块的覆盖掩膜层，所述覆盖掩膜块覆盖相邻的图形掩膜块之间的间隙；其中所述图形掩膜块包括有效区、非有效区以及位于有效区和非有效区之间的裕量区，所述有效区、非有效区和裕量区均具有多个像素成形开口，并且所述覆盖掩膜块还覆盖相邻的图形掩膜块的非有效区的像素成形开口。母板用于在制造所述掩膜板的过程中进行定位。掩膜板制造设备包括所述母板、基台、张网机和焊接机。显示基板蒸镀系统包括蒸镀机和所述掩膜板。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 母板 制造 设备 显示 基板蒸镀 系统 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，包括具有多个相互隔开且并行排列的图形掩膜块的图形掩膜层，和具有多个相互隔开且并行排列的覆盖掩膜块的覆盖掩膜层，所述覆盖掩膜块覆盖相邻的图形掩膜块之间的间隙，其特征在于，所述图形掩膜块包括有效区、非有效区以及位于有效区和非有效区之间的裕量区，所述有效区、非有效区和裕量区均具有多个像素成形开口，并且所述覆盖掩膜块还覆盖相邻的图形掩膜块的非有效区的像素成形开口。
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