[实用新型]等离子体增强化学气相沉积装置

摘要

本实用新型提供了一种等离子体增强化学气相沉积装置，该等离子体增强化学气相沉积装置包括反应腔室，所述反应腔室内设置有第一磁镜单元和第二磁镜单元，所述第一磁镜单元和所述第二磁镜单元从不同方向对所述反应腔室内的等离子体进行约束。本实用新型提供的等离子体增强化学气相沉积装置，通过在反应腔室内设置第一磁镜单元和第二磁镜单元从而形成双磁镜系统，利用该双磁镜系统可以产生不均匀磁力线，使得等离子体约束在双磁镜内部，可以从不同方向同时对等离子体进行约束，可以显著的提高等离子体密度，达到增加薄膜的沉积速率的目的，同时降低等离子体对薄膜的损伤，减小等离子体对反应腔室以及其内部电极造成的污染。

主权项

一种等离子体增强化学气相沉积装置，其特征在于，包括反应腔室，所述反应腔室内设置有第一磁镜单元和第二磁镜单元，所述第一磁镜单元和所述第二磁镜单元从不同方向对所述反应腔室内的等离子体进行约束。