[实用新型]一种具有面型调整功能的基准板固定装置

摘要

本实用新型公开了一种具有面型调整功能的基准板固定装置，包括支撑机构、面型调整装置和固定装置，基准板设置在所述支撑机构上，通过所述固定装置和面型调整装置对所述基准板调整定位精度和面型精度，调整后，将所述基准板固定在所述支撑机构上，所述具有面型调整功能的基准板固定装置能够对基准板进行面型调整，适用于大尺寸的基准板定位固定，且所述基准板与所述支撑机构的固定方式采用刚性连接固定和柔性连接固定结合的方式，在基准板的Z方向上，采用刚性连接固定，保证基准板的垂向位置精度，在基准板的X、Y方向上采用柔性连接固定，可以消除载体和基准板的热膨胀导致的基准板变形，保证基准板的水平向位置精度。

主权项

一种具有面型调整功能的基准板固定装置，用于定位固定两端设有倒角面的基准板，其特征在于，包括支撑机构、面型调整装置和固定装置，所述支撑机构用于承载并固定基准板；所述面型调整装置包括第一面型调整装置和第二面型调整装置，所述第一面型调整装置从基准板的上表面对基准板进行面型调整，所述第二面型调整装置从基准板的下表面对基准板进行面型调整；所述固定装置包括X向固定装置、Y向固定装置和Z向固定装置，所述X向固定装置从基准板的X向进行定位固定，所述Y向固定装置从基准板的Y向进行定位固定，所述Z向固定装置从基准板的Z向进行定位固定。