[实用新型]一种高精度的碳化硅化学抛光机有效
| 申请号： | 201620386999.2 | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN205703564U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 宗艳民 | 申请（专利权）人： | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B29/02;B24B55/02 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种高精度的碳化硅化学抛光机，包括底座，其特征在于：所述底座的上侧面设有固定板以及由电机带动进行旋转的第一抛光平台和第二抛光平台，所述的抛光装置包括位于第二抛光平台正上方的抛光片，所述的抛光片连接于移动轴一端，移动轴另一端穿入固定板并与可通过自身转动调节移动轴穿入固定板长度的定位轴通过锯齿啮合。本实用新型通过设有打磨装置和抛光装置对于碳化硅进行抛光，这样可以对于碳化硅有一个初步的磨平棱角的工序，不仅方便了下面的抛光工序，而且使得抛光更为彻底，通过转动定位轴改变抛光片的位置，保证对抛光片进行全面的抛光，提高了抛光质量和精度，而且从一定程度上还可以节约抛光时间和成本，具有很强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 碳化硅 化学 抛光机 | ||
【主权项】：
一种高精度的碳化硅化学抛光机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上侧面设有固定板(12)以及由电机(11)带动进行旋转的第一抛光平台(2)和第二抛光平台(3)，所述第一抛光平台(2)的一侧设有垂直安装于底座(1)的打磨装置(5)，所述打磨装置(5)包括位于第一抛光平台(2)正上方的打磨棒(10)；所述的固定板(12)上设置有储液仓(13)和抛光装置，储液仓(13)底端连通抛光液输送管(7)一端，抛光液输送管(7)另一端连接有位于第二抛光平台(3)正上方的喷头(8)；所述的抛光装置包括位于第二抛光平台(3)正上方的抛光片(9)，所述的抛光片(9)连接于移动轴(6)一端，移动轴(6)另一端穿入固定板(12)并与可通过自身转动调节移动轴(6)穿入固定板(12)长度的定位轴(4)通过锯齿啮合。
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