[实用新型]一种蓝宝石衬底片加工液的循环净化装置有效

专利信息
申请号: 201620363811.2 申请日: 2016-04-27
公开(公告)号: CN206473874U 公开(公告)日: 2017-09-08
发明(设计)人: 王道彬;张俊宝;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 申请(专利权)人: 上海超硅半导体有限公司
主分类号: B01D21/02 分类号: B01D21/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201604 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种用于蓝宝石衬底片加工液的循环净化装置,它包括加工液进料口接头,导流管,横流池,横流池隔离板,沉淀池,沉淀池隔离板,纯液池,漂浮物隔离罩,加工液出口接头等。该装置是将使用后的蓝宝石衬底片加工液通过进料口进入横流池,减缓流速冲击,平缓流过沉淀池。将加工液中含有的蓝宝石粉末和加工液结晶由自重沉淀在沉淀池底部。漂浮物隔离罩将加工时蓝宝石抛光磨损产生的抛布纤维,设备油污等漂浮物阻挡在纯液池内。沉淀后的加工液通过加工液出口进行循环使用,达到加工液净化效果。该装置结构紧凑,操作简易,维护方便,分离效果好,有效的提高蓝宝石抛光质量。
搜索关键词: 一种 蓝宝石 衬底 加工 循环 净化 装置
【主权项】:
一种蓝宝石衬底片加工液的循环净化装置,其特征在于由加工液进料口接头、导流管(3)、横流池(4)、横流池隔离板(5)、沉淀池(6)、沉淀池隔离板(7)、纯液池(8)、漂浮物隔离罩(9)和加工液出口接头构成;进料口(1)位置距离净化装置顶部5cm,在导流管(3)的顶部安装一个直径为5mm的防回流孔(2);导流管(3)的出口距离净化装置底部10cm,横流池(4)的长度为40cm;沉淀池(6)的长度为100cm;横流池隔离板(5)固定于净化装置底部,其高度为30‑40cm;沉淀池隔离板(7)固定于净化装置底部,其高度为50‑80cm。
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