[实用新型]一种晶片花篮有效
| 申请号： | 201620351839.4 | 申请日： | 2016-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN205542732U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 邹贤军;廖颖钰 | 申请（专利权）人： | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L33/00 |
| 代理公司： | 长沙七合源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 欧颖;吴婷 |
| 地址： | 423038 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶片花篮，所述花篮包括中心圆柱、圆形外壁、位于所述中心圆柱和圆形外壁之间且与中心圆柱同轴设置的至少两圈卡子、以及设置于所述中心圆柱和圆形外壁之间且以所述中心圆柱为辐射点呈辐射状分布的多块隔板，所述卡子上设置有用于放置圆形晶片的圆弧槽，每相邻的两块所述圆形晶片间以隔板隔开。本实用新型的一种晶片花篮，在晶片花篮底部的每圈卡子顶部设置多个圆弧槽，同时减小花篮中心圆柱的直径，减轻清洗过程中卡子对晶片的挤压，方便清洗后晶片从花篮中夹取和转移，达到减少晶片破片、降低晶片异常、提高产品品质的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 花篮 | ||
【主权项】：
一种晶片花篮，其特征在于，所述花篮包括中心圆柱(1)、圆形外壁(4)、位于所述中心圆柱(1)和圆形外壁(4)之间且与中心圆柱(1)同轴设置的至少两圈卡子(3)、以及设置于所述中心圆柱(1)和圆形外壁(4)之间且以中心圆柱(1)为辐射点呈辐射状分布的多块隔板(2)，所述卡子(3)上设置有用于放置圆形晶片的圆弧槽，每相邻的两块所述圆形晶片间以隔板隔开。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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